半導(dǎo)體行業(yè)廢氣治理方案：沸石轉(zhuǎn)輪+蓄熱式熱氧化（RTO）技術(shù)的融合應(yīng)用
發(fā)布時間 : 2024-06-29 點(diǎn)擊量 : 0
一、引言半導(dǎo)體行業(yè)作為現(xiàn)代電子工業(yè)的核心，其生產(chǎn)過程中產(chǎn)生的廢氣種類繁多，成分復(fù)雜，含有大量揮發(fā)性有機(jī)物（VOCs）以及HCl、氨、HF等危險(xiǎn)污染物。這些廢氣若未經(jīng)有效處理直接排放，將對大氣環(huán)境、水源 ...
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